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ウエハ(wafer)

ウエハとは、半導体素材を薄く切った円盤状の基板のこと。

シリコンを使った半導体ウエハが主流で、シリコンウエハと呼ぶ。集積回路、太陽電池、LEDなどに使用される。

ウエハの製造プロセスは、まずシリコン素材を高純度に精製してスライスし、表面を平滑に研磨したのち、フォトリソグラフィ技術を使用してパターンを形成する。

その後、半導体デバイスを形成するために複数の層を重ねる。ウエハは、半導体素材を均一に薄く加工するための重要な役割を持つ。洋菓子のウエハースが語源。

 

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